Ngành công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc đang tiếp tục có những bước tiến mới trong việc cải tiến các công cụ quang khắc trong nước, theo SCMP.

Nhưng nhiều chuyên gia cho biết, quốc gia này vẫn chưa thể đạt được những bước nhảy vọt lớn để bắt kịp công ty ASML của Hà Lan – hiện đang dẫn đầu lĩnh vực này.

Bộ Công nghiệp và Công nghệ thông tin Trung Quốc (MIIT) mới đây đã công bố danh sách các công cụ mới nhằm thúc đẩy nhà sản xuất chip trong nước sử dụng để giảm sự phụ thuộc vào công nghệ nước ngoài.

Danh sách bao gồm một loạt công cụ được sử dụng trong nhiều giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất, từ sản xuất mạch tích hợp đến khai thác mỏ và luyện kim.

Trong đó, 2 máy quét thạch bản đã thu hút sự chú ý của truyền thông quốc tế, được xem như một dấu hiệu cho thấy sự tiến bộ mới nhất của Trung Quốc về công nghệ bán dẫn.

Một trong hai máy quét này sử dụng nguồn sáng krypton-fluoride (KrF) có bước sóng 248nm và độ chính xác lên tới 25nm, có khả năng hỗ trợ độ phân giải 110nm trên các tấm wafer 12 inch, theo tài liệu của MIIT.

Thiết bị còn lại sử dụng nguồn sáng argon fluoride (ArF) tiên tiến hơn với bước sóng 193nm và độ chính xác 8nm, hỗ trợ độ phân giải sản xuất 65nm trên các tấm wafer 12 inch.

Tuy nhiên, MIT không nêu rõ nhà sản xuất của các thiết bị này cũng như số lượng tấm wafer mà chúng có thể sản xuất mỗi giờ. Quan trọng hơn, tài liệu của MIT không cung cấp thông tin chi tiết về khả năng căn chỉnh tính năng của thiết bị, yếu tố quan trọng để đánh giá mức độ tiên tiến của các máy quét.

Một số nhà phân tích cho rằng các máy mới này có thể không có khả năng sản xuất chip với độ chính xác ở mức gần 8nm như đã tuyên bố.

Shanghai Micro Electronics Equipment, nhà sản xuất máy quang khắc hàng đầu Trung Quốc, cũng chưa thể sản xuất hàng loạt những con chip được sử dụng cho các quy trình 28nm trở xuống. Điều này cho thấy khoảng cách công nghệ giữa Trung Quốc và các đối thủ cạnh tranh toàn cầu vẫn còn rất lớn.

Hiện tại, các nhà máy đúc của quốc gia này vẫn đang tích cực sử dụng và tích trữ thiết bị ASML nhằm chuẩn bị cho lệnh hạn chế ngày càng gia tăng từ Mỹ. Tập đoàn Hà Lan đã chứng kiến doanh số bán hàng tại Trung Quốc chiếm 49% tổng doanh thu trong quý II/2024.

Theo SCMP